KARBON İÇERİĞİNİN PLAZMA İLE BİRİKTİRİLMİŞ AMORF SİLİSYUM KARBÜR İNCE FİLMLERİN ÖZELLİKLERİNE ETKİLERİ
Tez Türü: Doktora
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik, Türkiye
Tez Danışmanı: PROF.DR. İSMAİL ATILGAN
Tezin Onay Tarihi: 2007